| Аннотацiя: | Проведено измерение распределений потенциала плазмы, температуры и концентрации электронов в технологическом генераторе плазмы зондовым методом. Основные параметры плазмы определены также с помощью жидкостной модели. Получено количественное и качественное соответствие расчетных данных с экспериментальными в пределах погрешности зондового метода измерений. Проведено сравнение экспериментально измеренного распределения плотности тока по длине катода-мишени с расчетным. Показана возможность использования жидкостной модели для проведения количественного и качественного определения профиля зоны эрозии катода-мишени. |
