Електроний каталог - Науково-технічна бібліотека ім М.Є. Жуковського ХАІ

Cписок

Шорінов О.В.
Аналіз існуючих моделей виникнення напружень в тонких плівках і покриттях

Вид документа: Складова частина документа
Автор: Шорінов О.В. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: С. 77-96
УДК: 539.401:539.23:620.3

Аннотацiя:

Проведено аналіз існуючих моделей виникнення напружень у тонких плівках і покриттях. Напруження при досягненні певних критичних значень можуть призводити до появи в них дефектів, тріщин, відшарування їх від підкладки тощо. Проблема прогнозування і керування знаком і величиною напружень системи покриття-підкладка є актуальною незалежно від методу отримання покриттів і тонких плівок, які знайшли застосування майже у всіх галузях промисловості: оптиці, машинобудуванні, вимірювальній техніці, медицині, мікро- та наноелектроніці тощо. Дослідження нових перспективних методів формування наноструктур, наприклад отримання нанодротів в умовах плазмового середовища, потребує наявності достатньої теоретичної бази при вирішенні питань зародження й розвинення напружень. Причинами виникнення напружень у тонких плівках і покриттях можуть бути: хімічні реакції, фазові перетворення, включення і домішки, бомбардування частинками (внутрішні напруження в процесі зростання покриттів); зміна температур (термічні напруження

Переглянути електронну копію

Є складовою частиною документа: Відкриті інформаційні та комп'ютерні інтегровані технології

Відомості щодо головного

Вид автора головного документа:

Персона

Назва головного документа:

Відкриті інформаційні та комп'ютерні інтегровані технології

Відомості щодо назви головного документа:

зб. наук. пр.

Відомості про відповідальність головного документа:

М-во освіти і науки України, Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харків. авіац. ін-т"

Місце видання головного документа:

Харків

Видавник головного документа:

Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харків. авіац. ін-т"

Дата видання головного документа:

2021

Номер частини головного документа:

Вип. 91

Шифр головного документа:

004

Авторський знак головного документа:

В42

Загальна інформація

Бібліографія:

Бібліогр.: 70 назв.

Теми документа: