Аннотацiя: | Проведены исследования величины объема нанокластера и глубины его залегания в зави-симости от энергии, заряда и сорта ионов (В+, N+, С+, Аl+, V+, Сг+, O+, Ni+, Zr+, Мо+, Нf+, W+, Та+, Рt+), что позволяет определить состав ионов, их энергии и заряды для получения наноструктур в требуемом слое, а с учетом необходимой плотности ионного тока получить практически все технологические параметры потока требуемой толщины и физико-механических характеристик в магниевом сплаве. Показано, что можно получать нанокла-стеры объемом от 1,97·10-27 до 4,95·10-22 м3, причем глубины их залегания колеблются в диапазоне от 1,65·10-9 до 1,65·10-7 м. Всё это свидетельствует о том, что можно получать наноструктурные слои различной толщины с максимальной толщиной до десятых микро-метра, а изменяя сорта ионов, можно варьировать физико-механические характеристики.
Ключевые слова: нанокластер, ион, заряд, энергия, глубина залегания.
|