[email protected]
+38 (057) 788-42-24
Електронний каталог
dKHAIIR
Про бібліотеку
Бібліотека сьогодні
Історія бібліотеки
Структура бібліотеки. Графік роботи.
Положення про науково-технічну бібліотеку
Правила користування НТБ
Ресурси
Інформаційно-бібліографічні ресурси
Бібліографічні видання
Тематичні книжково-ілюстративні виставки
Віртуальні виставки
Нові надходження
Онлайн-ресурси локального доступу
Онлайн-ресурсы вільного доступу
Списки публікацій співробітників НТБ
Швидкий пошук
Студенту
Оформлення списку літератури
Основи інформаційної культури
Соціокультурна діяльність
Галерея
Архів подій
Випускники ХАІ
Наука
Бібліометричні профілі співробітників Університету
Нормативно-правова база
Оформлення дисертацій і авторефератів
Наукометрична діяльність
Створення авторського профілю
Технічні звіти з НДДКР
До уваги науковців
Послуги
Електронна доставка документів
Віртуальна довідка
Ваш формуляр
Усі послуги
Головна
→
Електронний каталог
→
Пошук по електронному каталогу
→
Опис документа
Форма пошуку
Назад
укр
рус
eng
Cписок
Баранов О.О.
Теоретическая модель разряда магнетронного распылительного устройства
Вид документа:
Складова частина документа
Автор:
Баранов О.О.
Вид автора:
персона
Мова:
Російська
Обсяг:
С. 102-119
УДК:
621.9.048.7
Аннотацiя:
Разработана модель стационарного режима магнетронного разряда, позволяющая рассчитать вольтамперные характеристики. Предложен механизм поддержания разряда, согласно которому генерация плазмы в магнитном поле обусловлена действием высокоэнергетичных первичных электронов и электронов плазмы, а на параметры зоны ионизации влияют процессы ионного распыления посредством изменения концентрации атомов рабочего газа при баллистических столкновениях с распыленными атомами, последующей термализации и отвода тепла к стенкам вакуумной камеры. Для проверки адекватности модели проведен эксперимент по измерению вольтамперных характеристик разряда планарного магнетрона в диапазоне индукции магнитного поля 0,012 - 0,036 Т при давлении газа 0,7 - 1,7 Па, который показал, что расхождение между результатами расчета и данными эксперимента не превышает 15 - 20 %.
Переглянути електронну копію
Є складовою частиною документа:
Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии
Відомості щодо головного
Вид автора головного документа
:
Персона
Назва головного документа
:
Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии
Відомості щодо назви головного документа
:
сб. науч. тр.
Відомості про відповідальність головного документа
:
М-во образования и науки Украины, Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т"
Місце видання головного документа
:
Харьков
Видавник головного документа
:
Нац. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т"
Дата видання головного документа
:
2014
Номер частини головного документа
:
Вып. 64
Шифр головного документа
:
004
Авторський знак головного документа
:
О-83
Загальна інформація
Бібліографія
:
Библиогр.: 49 назв.
Теми документа:
УДК/UDC/ 6 Прикладні науки. Медицина. Технологія/Прикладные науки. Медицина. Технология/ Applied Sciences. Medicine. Technology/ 62 Машинобудування. Техніка в цілому/Инженерное дело. Техника в целом/Engineering. Technology in general/ 621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування/Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения/Mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engin/ 621.9 Обробка та формоутворення за допомогою зняття стружки. Обробка шліфуванням. Молоти та преси/ 621.9.04 Техніка та особливі методи механічної обробки/ 621.9.048 Ерозійна обробка. Електроерозійна обробка. Ультрозвукова обробка/ 621.9.048.7 Електронно-промінева обробка
Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ/Works of KHAI employees/ Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ/ Б/ Баранов О.О./Baranov O.
Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ/Works of KHAI employees/ Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
Задати питання
Ми обробляємо онлайн заявки в першу чергу. Довідка обробляється протягом 3 днів (в зависмости від складності запиту).
Ім'я
*
Прізвище
*
По батькові
Номер читацького квитка (ХАІ)
E-mail
*
Місто
Категорія користувача
Студент
Викладач
Науковий співробітник
Аспірант
Співробітник університету
Учень ліцею
Розділ
*
Авіація і космонавтика
Астрономія
Аеродинаміка
Бухгалтерія
Військова техніка
Географія
Двигуни. Силові установки
Деталі машин
Мистецтво
Історія
Комп'ютерна технологія
Космонавтика. Ракетна техніка
Культурологія
Логіка
Маркетинг
Математика
Машинобудування
Освіта. Виховання. Навчання
Пневмоенергетіка. Холодильна техніка
Право. Юридичні науки
Психологія
Релігія. Теологія
Соціологія
Стандартизація та стандарти
Теплодинаміка
Технологія механічної обробки матеріалів
Управління підприємствами. менеджмент
Фізика
Філософія
Фінанси
Хімія
Економіка. Економічні науки
Електротехніка
Етика
Мовознавство
Екологія
Загальні питання
Ракетна техніка й озброєння
Телекомунікації. Зв'язок. Радіотехніка
інше
Кібернетика. Автоматика
Питання
*
Замовити частина документа (книгу)
Ми обробляємо онлайн заявки в першу чергу. Довідка обробляється протягом тижня (в зависмости від складності запиту).
Відомості про замовника
Ім'я
*
Прізвище
*
По батькові
Номер читацького квитка (ХАІ)
E-mail
*
Місто
Відомості про книгу
Автор
*
Назва
*
Рік видання
*
Місце видання
*
Том
*
Сторінки
*
Замовити статтю з журналу / збірника
Ми обробляємо онлайн заявки в першу чергу. Довідка обробляється протягом тижня (в зависмости від складності запиту).
Відомості про замовника
Ім'я
*
Прізвище
*
По батькові
Номер читацького квитка (ХАІ)
E-mail
*
Місто
Відомості про статтю з журналу / збірника
Название журнала/сборника
*
Автор
*
Назва статті
*
Рік видання
*
Місце видання
*
Номер журналу / збірника
*
Сторінки
*