| Аннотацiя: | На основе проведенных экспериментальных исследований разработана модель расчета компонентного состава многокомпонентного покрытия. Предложено использовать эту модель для определения технологических параметров (плотности тока на группы катодов-мишеней; разрядного потенциала; величины
запирающего потенциала) процесса формирования многокомпонентных покрытий различного стехиометрического состава. |