| Аннотацiя: | Проанализировано влияние газовыделения внутренних клеевых соединений вакуумных приборов на остаточную атмосферу в них. Показано, что остаточная атмосфера в опаянном вакуумном приборе с внутренними клеевыми соединениями и встроенным геттером в основном состоит из углеводородов. Рассмотрены методы улучшения вакуума в корпусе приборов. Впервые сделан вывод о том, что обезглаживание клеевых швов в приборе в вакууме при повышенной температуре позволяет уменьшить выделение углеводородов на несколько порядков. |