| Аннотацiя: | Представлена конфигурация полупроводниковых детекторов отраженных электронов для сканирующего электронного микроскопа. Показано, что с помощью полупроводникового детектора при учете его функции отклика (аппаратной функции) можно проводить экспресс- оценки толщины ультратонких пленочных покрытий нанометровых размеров на массивной подложке. |