| Аннотацiя: | Исследованы пленки молибдена, полученные на подложках из ситалла СТ50-1-1-0,6 методом магнетронного распыления. Изучено влияние режимов магнетронного распыления на механические напряжения и шероховатость поверхности пленок молибдена. Определены параметры технологических режимов магнетронного распыления, при которых шероховатость поверхности пленок и механические напряжения минимальны. Установлено, что пленки молибдена на ситалловых подложках имеют сжимающий характер механических напряжений. Их величина не превышает (-1,0) ГПа. Среднеквадратичное отклонение шероховатости поверхности пленок Мо были менее 2 нм. Результаты исследований будут полезны при изготовлении тонкопленочных СВЧ-резонаторов с брэгговским отражателем. |