| Аннотацiя: | Приведен обзор электрофизических свойств полупроводникового карбида кремния в сопоставлении с другими полупроводниковыми материалами. Рассмотрены методы выращивания объёмных монокристаллов и гетероэпитаксиальных структур карбида кремния, а также методы получения и результаты исследований различных типов приборов на основе Sic. |