Аннотацiя: | Описан метод микротомографии слоистых микроструктур при детектировании обратнорассеянных электронов в растровом электронном микроскопе. Метод основан на формировании послойных изображений скрытых под поверхностью микроструктур с помощью отфильтрованных в узком энергетическом окне отраженных электронов. Для микротомографии и спектроскопии отраженных электронов применен усовершенствованный спектрометр дефлекторного типа с тороидальными электростатическими секторными электродами. Для повышения четкости и точности сепарации отдельных заглубленных гетерограниц осуществлен модуляционный принцип детектирования видеосигнала.
|