Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Гостев А.В., Дицман С.А., Лукьянов Ф.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А.
Метод и аппаратура электронной микротомографии в сканирующей электронной микроскопии

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Гостев А.В., Дицман С.А., Лукьянов Ф.А., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Сеннов Р.А. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 124-134
УДК: 621.385.833:548.316

Аннотацiя:Описан метод микротомографии слоистых микроструктур при детектировании обратнорассеянных электронов в растровом электронном микроскопе. Метод основан на формировании послойных изображений скрытых под поверхностью микроструктур с помощью отфильтрованных в узком энергетическом окне отраженных электронов. Для микротомографии и спектроскопии отраженных электронов применен усовершенствованный спектрометр дефлекторного типа с тороидальными электростатическими секторными электродами. Для повышения четкости и точности сепарации отдельных заглубленных гетерограниц осуществлен модуляционный принцип детектирования видеосигнала.

Є складовою частиною документа: Приборы и техника эксперимента

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Приборы и техника эксперимента
 Дата видання головного документа:2010
 Номер частини головного документа:4

Загальна інформація
 Бібліографія:17 назв.

Теми документа: