Аннотацiя: | Рассмотрены актуальные вопросы получения нанопокрытий с размерами зерен менее 100 нм. Приведены сведения о технологических методах их нанесения в вакууме с использованием плазменных источников энергии, способах управления структурой и свойствами, а также о перспективах использования нанопокрытий в инструментальном производстве. |