Cписок

Агеев О.А., Алябьева Н.И., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Смирнов В.А.
Фотоактивация процессов формирования наноструктур методом локального анодного окисления пленки титана

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Агеев О.А., Алябьева Н.И., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Смирнов В.А. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 23-31
УДК: 621.385

Аннотацiя:

Представлены результаты экспериментальных исследований режимов активации зондовой нанолитографии тонкой пленки титана методом локального анодного окисления.

Є складовою частиною документа: Известия вузов. Электроника.

Відомості щодо назви

Відомості про відповідальність:

Технологический институт Южного федерального университета, г.Таганрог, Россия

Відомості щодо головного

Назва головного документа:

Известия вузов. Электроника.

Дата видання головного документа:

2010

Номер частини головного документа:

Загальна інформація

Бібліографія:

11 назв

Теми документа:

УДК/UDC/ 6 Прикладні науки. Медицина. Технологія/Прикладные науки. Медицина. Технология/ Applied Sciences. Medicine. Technology/ 62 Машинобудування. Техніка в цілому/Инженерное дело. Техника в целом/Engineering. Technology in general/ 621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування/Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения/Mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engin/ 621.3 Електрика. Електротехніка.Технічна електродинаміка/Электротехника/Electrical engineering/ 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц/Electronics. Photoelectronics./ 621.385 Електронні пристрої із використанням електронних розрядів. Електронні лампи. Термокатодні вакуумні лампи/Электронные лампы. Высоковакуумные термокатодные лампы/Electron tubes. High-vacuum thermocathodic lamps