| Аннотацiя: | Представлены основные этапы разработки отечественных микромеханических гироскопов. Освещена история их создания, начиная с конструкций первых образцов до испытаний приборов и систем, разработанных в ЦНИИ "Электроприбор". Проанализированы проблемы проектирования с учетом специфики используемых материалов, технологии и выбранных конструктивных решений.
Ключевые слова: микромеханический гироскоп, упругий подвес, кремний.
|