| Аннотацiя: | Представлена лазерно-дифракционная методика формирования регулярного массива (решетки) кластеров кремния в системе кремний - диоксид кремния, основанная на процессе локального лазерного испарения вещества. Определена пороговая мощность лазера, превышение которой сопровождается возникновением на окисленной поверхности кремния нанокластеров кремния в виде регулярной решетки. |