Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Соколов Л.В., Агафонова Н.А., Наумов Ю.В.
Аппроксимация упругих деформаций на поверхности кремниевого пьезорезистивного преобразователя давления с трехмерной микромеханической структурой Е-типа

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Соколов Л.В., Агафонова Н.А., Наумов Ю.В. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 36-39
УДК: 681.208

Аннотацiя:Получены аппроксимирующие выражения для расчета тангенциальных деформаций на поверхности кремниевых пьезорезистивных мембранных преобразователей давления Е-типа с трехмерной микромеханической структурой в реальных условиях неразъемного соединения и защемления опорным элементом.

Є складовою частиною документа: Измерительная техника

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Научно-исследовательский институт авиационного оборудования, Жуковский, Россия,

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Измерительная техника
 Дата видання головного документа:2009
 Номер частини головного документа:3

Загальна інформація
 Ілюстрації:4 рис.
 Бібліографія:5 назв.

Теми документа: