Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Семенов А.П., Семенова И.А.
Снижение давления зажигания аномального тлеющего разряда в магнетроне при облучении катода магнетрона ионным пучком

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Семенов А.П., Семенова И.А. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 110-114
УДК: 537.534.7

Аннотацiя:Рассмотрено влияние ионного пучка, инжектируемого вдоль оси анодного электрода планарного магнетрона, на зажигание аномального тлеющего разряда низкого давления в магнетроне. Определены характеристики зажигания разряда при давлениях <8 · 10-2 Па и свойства планарного магнетрона при облучении катода магнетрона пучком ионов аргона. Установлено, что напряжение зажигания разряда падает с повышением энергии ионов и пороговым образом зависит от тока ионного пучка. Показана перспектива расширения функциональных возможностей планарных магнетронов за счет согласования режимов распыления анода магнетрона ионным пучком и катода магнетрона плазменными ионами аномального тлеющего разряда.

Є складовою частиною документа: Приборы и техника эксперимента

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Отдел физических проблем при Президиуме Бурятского научного центра СО РАН Россия, Улан-Удэ

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Приборы и техника эксперимента
 Дата видання головного документа:2009
 Номер частини головного документа:1

Загальна інформація
 Ілюстрації:5 рис.
 Бібліографія:15 назв.

Теми документа: