Аннотацiя: | Разработан тест-объект для растровой электронной микроскопии, имеющий трапециевидный профиль рельефа с большими углами наклона боковых стенок. Тест-объект содержит элементы с тремя аттестуемыми размерами ширины линии, расположенные в двух взаимно-перпендикулярных направлениях. |