Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Даниловав М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В, Тодуа П.А.
Тест-объект с тремя аттестованными размерами ширины линии для растровой

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Даниловав М.А., Митюхляев В.Б., Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Раков А.В, Тодуа П.А. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 49-52
УДК: 537.533:620.187:539.25

Аннотацiя:Разработан тест-объект для растровой электронной микроскопии, имеющий трапециевидный профиль рельефа с большими углами наклона боковых стенок. Тест-объект содержит элементы с тремя аттестуемыми размерами ширины линии, расположенные в двух взаимно-перпендикулярных направлениях.

Є складовою частиною документа: Измерительная техника

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Измерительная техника
 Дата видання головного документа:2008
 Номер частини головного документа:9

Загальна інформація
 Ілюстрації:4 рис.
 Бібліографія:13 назв.

Теми документа: