| Аннотацiя: | Проанализировано влияние параметров растровых электронных микроскопов на точность измерения линейных размеров в микро-и нанотехнологиях. Определены погрешности, с которыми должны быть известны эти параметры для использования указанных микроскопов в данных технологиях |