Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В.
Идеология проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 75-87
УДК: 533.5:62-982

Аннотацiя:Рассматривается идеология проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования с использованием принципа управляемой упругой деформации, при которой эффект функционирования внутрикамерных схем создается в результате внутреннего трения, что полностью исключает наличие трения движения как источника привносимой дефектности.

Є складовою частиною документа: Конверсия в машиностроении

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Московский государственный институт электроники и математики - технический университет

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Конверсия в машиностроении
 Дата видання головного документа:2008
 Номер частини головного документа:2

Загальна інформація
 Бібліографія:13 назв.

Теми документа: