Cписок

Наумов В.В., Гребенщиков О.А., Залесский В.Б., Кравченко В.М.
Компьютерная система автоматического контроля толщины напыляемых тонких пленок

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Наумов В.В., Гребенщиков О.А., Залесский В.Б., Кравченко В.М. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 53-55
УДК: 004:539.216:658.56

Аннотацiя:

В статье описаны устройство, методика измерения и алгоритм функционирования двухканальной компьютерной системы автоматического контроля толщины напыляемых тонких пленок.

Є складовою частиною документа: Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика

Відомості щодо головного

Назва головного документа:

Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика

Дата видання головного документа:

2007

Номер частини головного документа:

Загальна інформація

Бібліографія:

7 назв

Теми документа: