| Аннотацiя: | Дано описание новой математической модели работы молекулярновязкостного насоса при переходном и вязкостном режимах течения газа в каналах насоса. На основании теоретической модели исследовано влияние геометрических и динамических параметров насоса на его откачную характеристику. Влияние поверхности канала на течение газа учитываются коэффициентом внешнего трения. |