Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Буданов В.Е., Суслов Н.Н., Шубенко А.Л., Степанов В.Ю.
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Буданов В.Е., Суслов Н.Н., Шубенко А.Л., Степанов В.Ю. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 610-614
УДК: 620.179

Аннотацiя:Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, которы при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности.

Є складовою частиною документа: Радиофизика и электроника

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Радиофизика и электроника
 Дата видання головного документа:2007
 Номер частини головного документа:3

Загальна інформація
 Бібліографія:4 назв

Теми документа: