Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Белоусов И.В.
Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Белоусов И.В. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 54-57
УДК: 621.38.049.77.002

Аннотацiя:Рассмотрена кристаллизация силицидной фазы кобальта на поверхности монокристаллического кремния.

Є складовою частиною документа: Технология и конструирование в электронной аппаратуре

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
 Дата видання головного документа:2007
 Номер частини головного документа:5

Загальна інформація
 Бібліографія:10 назв

Теми документа: