Аннотацiя: | Проведен сравнительный анализ емкостного и виброрезонансного методов измерения давления на основе современных микроэлектронных технологий конструкционных материалов. Показано, что по совокупности преимуществ емкостный метод применительно к датчикам давления превосходит виброрезонансный, особенно по возможности работы в экстремальных эксплуатационных условиях |