Cписок

Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Воротников А.А., Рубчиц В.Г., Прокопьев Е.П.
Влияние пористости поверхностных слоев на жесткость подвеса чувствительного элемента МЭМС на основе структур КНИ

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Воротников А.А., Рубчиц В.Г., Прокопьев Е.П. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 9-12
УДК: 621:532.526

Аннотацiя:

Приведен анализ механизмов меграции пор и полостей на границе раздела в структурах кремний-на-изоляторе. Показано, что поры с радиусом до 30 мкм на границе раздела залечиваются в процессе термообработки структур, что способствует получению качественных приборов и микроэлектромеханических систем.

Є складовою частиною документа: Известия вузов. Электроника.

Відомості щодо головного

Назва головного документа:

Известия вузов. Электроника.

Дата видання головного документа:

2006

Номер частини головного документа:

Загальна інформація

Бібліографія:

С. 12

Теми документа: