| Аннотацiя: | Показано, что междисциплинарный характер исследований и разработок, проводимых в НПК "Технологический центр" МИЭТ, позволил в короткие сроки осуществить трансферт технологии микроэлектроники в микросистемную технику и составить достаточно широкую номенклатуру изделий МСТ. Сформилированы направления дальнейших исследований в этой области. |