Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Бородуля В.А., Виноградов Л.М., Рабинович О.С., Акулич А.В.
Теоретический анализ и моделирование получения поликристаллического кремния в реакторе кипящего слоя.

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Бородуля В.А., Виноградов Л.М., Рабинович О.С., Акулич А.В. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 48-53
УДК: 66.0

Аннотацiя:Выполнен теоретический анализ и рассмотрены основные проблемы технологии получения полукристаллического кремния пиролитическим разложением моносилана в реакторе кипящего слоя.

Є складовою частиною документа: Инженерно-физический журнал

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Институ тепло- и массообмена им. А.В.Лыкова НАН Беларуси, г.Минск

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Инженерно-физический журнал
 Дата видання головного документа:2005
 Номер частини головного документа:1

Загальна інформація
 Бібліографія:С. 53

Теми документа: