Cписок

Кислов Н.М., Кузнецов Г.Д., Сергиенко А.А., Симакин С.Б.
К модели выхода вторичных электронов из металлов и полупроводников при ионной обработке повенрхности.

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Кислов Н.М., Кузнецов Г.Д., Сергиенко А.А., Симакин С.Б. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 63-67
УДК: 621.315.5:537.53

Аннотацiя:

Рассмотрены модельные представления по выходу вторичных электронов из металлов и полупроводников в зависимости от их физических характеристик и параметров технологического процесса ионно-лучевого травления материалов ионами инертных газов.

Є складовою частиною документа: Известия вузов. Материалы электронной техники.

Відомості щодо назви

Відомості про відповідальність:

Московский государственный институ стали и сплавов (технологический университет)

Відомості щодо головного

Назва головного документа:

Известия вузов. Материалы электронной техники.

Дата видання головного документа:

2004

Номер частини головного документа:

Загальна інформація

Бібліографія:

С. 67

Теми документа: