| Аннотацiя: | Описана автоматизация комплекса технологического оборудования для получения тонких пленок и многослойных структур полупроводниковых и магнитных метериалов в сверхвысоком вакууме. Разработаны программно-аппаратные блоки на базе п.э.в.м. для контроля сверхвысоковакуумной системы и автоматического управления испарителями. Комплекс оснащен аналитическим оборудованием для контроляпараметров получаемых структур методами дифракции отраженных быстрых электронов, лазерной эллипсометрии и электронной оже-спектроскопии. |