Форма пошуку
Назад
укр
рус
eng
Cписок
Новиков Ю.А., Раков А.В., Филиппов М.Н.
Определение зависимости диаметра электронного зонда РЭМ от тока пучка
Вид документа:
Стаття періодики
Автор:
Новиков Ю.А., Раков А.В., Филиппов М.Н.
Вид автора:
персона
Мова:
Російська
Обсяг:
С. 13-15
УДК:
537.533
Аннотацiя:
Разработан метод измерения зависимости диаметра электронного зонда d растрового электронного микроскопа (РЭМ) от тока пучка j.
Є складовою частиною документа:
Измерительная техника
Відомості щодо головного
Назва головного документа
:
Измерительная техника
Дата видання головного документа
:
2004
Номер частини головного документа
:
5
Теми документа:
УДК/UDC/ 5 Математика та природничі науки/Математика и естественные науки/Mathematics. Natural Sciences/ 53 Фізика/Физика/Physics/ 537 Електрика. Магнетизм. Електромагнетизм/Электричество. Магнетизм. Электромагнетизм/Electricity. Magnetism. Electromagnetism/ 537.5 Електронні та іонні явища/Электронные и ионные явления/Electron and ion phenomena/ 537.53 Емісія випромінювання або частинок при розрядах/Испускание излучения или частиц при разрядах/Emission of radiation or particles at categories/ 537.533 Електронні (катодні ) промені та пов'язана геометрична оптика/Электронные (катодные) пучки и геометрическая оптика/Electronic (cathodic) bunches and geometrical optics