Cписок

Кирюшкина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С.
Особенности процесса травления SiO2 и БФСС в травителях на основе HF в системе рециркуляционной фильтрации

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Кирюшкина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 17-22
УДК: 621.3.049.77

Аннотацiя:

Проведенно исследование скорости травления , уровня привносимой дефектности процесса и накопления ионных примесей в водных травителях на основе разбавленных растворов HF при травлении БФСС и SiO2 в режиме рециркуляционной фильтрации.

Є складовою частиною документа: Известия вузов. Электроника.

Відомості щодо назви

Відомості про відповідальність:

ОАО "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (г.Москва)

Відомості щодо головного

Назва головного документа:

Известия вузов. Электроника.

Дата видання головного документа:

2004

Номер частини головного документа:

Загальна інформація

Бібліографія:

С. 22

Теми документа:

УДК/UDC/ 6 Прикладні науки. Медицина. Технологія/Прикладные науки. Медицина. Технология/ Applied Sciences. Medicine. Technology/ 62 Машинобудування. Техніка в цілому/Инженерное дело. Техника в целом/Engineering. Technology in general/ 621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування/Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения/Mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engin/ 621.3 Електрика. Електротехніка.Технічна електродинаміка/Электротехника/Electrical engineering/ 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц/Electronics. Photoelectronics./ 621.38.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми