Cписок

Кирюшина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С.
Процессы очистки кремниевых пластин в модифицированных аммиачно- и соляно-перекисных растворах.

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Кирюшина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 53-59
УДК: 621.3.049.77

Аннотацiя:

Проведено исследование процессов жидкостной химической подготовки пластин в растворах с традиционной рецептурой компонентов (NH4OH: H2O2: H2O=1:1:6; HCl:H2O2:H2O=1:1:6) и модифицированной рецептурой компонентов ( NH4OH: H2O2: H2O=1:1:20; HCl:H2O2:H2O=1:1:20) в технологическом маршруте изготовления СБИС.

Є складовою частиною документа: Известия вузов. Электроника.

Відомості щодо назви

Відомості про відповідальність:

ОАО "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (г.Москва).

Відомості щодо головного

Назва головного документа:

Известия вузов. Электроника.

Дата видання головного документа:

2004

Номер частини головного документа:

Загальна інформація

Бібліографія:

С. 58-59

Теми документа:

УДК/UDC/ 6 Прикладні науки. Медицина. Технологія/Прикладные науки. Медицина. Технология/ Applied Sciences. Medicine. Technology/ 62 Машинобудування. Техніка в цілому/Инженерное дело. Техника в целом/Engineering. Technology in general/ 621 Загальне машинобудування. Ядерна техніка. Електротехнiка. Машинобудування/Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения/Mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engin/ 621.3 Електрика. Електротехніка.Технічна електродинаміка/Электротехника/Electrical engineering/ 621.38 Електронiка. Електронні лампи. Фотоелектроніка. Рентгенотехніка. Прискорювачі елементарних частинок/Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц/Electronics. Photoelectronics./ 621.38.049.77 Мікроелектроніка. Інтегральні схеми