Форма пошуку Назад
укр рус eng
 Cписок

Андреев С.В., Карасев Н.Н., Путилин Э.С., Шакин А.О.
Автоматизация фотометрического контроля толщины осаждаемых слоев.

Вид документа: Стаття періодики
Автор: Андреев С.В., Карасев Н.Н., Путилин Э.С., Шакин А.О. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С. 85-90
УДК: 535.08; 681.7.08

Аннотацiя:Для автоматического контроля осаждения слоев разработана схема контроля с использованием двух источников излучения и двух пар фотоприемников.

Є складовою частиною документа: Известия вузов. Электроника.

Відомості щодо назви
 Відомості про відповідальність:Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет).

Відомості щодо головного
 Назва головного документа:Известия вузов. Электроника.
 Дата видання головного документа:2003
 Номер частини головного документа:6

Загальна інформація
 Бібліографія:С. 90

Теми документа: