Форма пошуку
Назад
укр
рус
eng
Cписок
Андреев С.В., Карасев Н.Н., Путилин Э.С., Шакин А.О.
Автоматизация фотометрического контроля толщины осаждаемых слоев.
Вид документа:
Стаття періодики
Автор:
Андреев С.В., Карасев Н.Н., Путилин Э.С., Шакин А.О.
Вид автора:
персона
Мова:
Російська
Обсяг:
С. 85-90
УДК:
535.08; 681.7.08
Аннотацiя:
Для автоматического контроля осаждения слоев разработана схема контроля с использованием двух источников излучения и двух пар фотоприемников.
Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника.
Відомості щодо назви
Відомості про відповідальність
:
Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет).
Відомості щодо головного
Назва головного документа
:
Известия вузов. Электроника.
Дата видання головного документа
:
2003
Номер частини головного документа
:
6
Загальна інформація
Бібліографія
:
С. 90
Теми документа:
УДК/UDC/ 5 Математика та природничі науки/Математика и естественные науки/Mathematics. Natural Sciences/ 53 Фізика/Физика/Physics/ 535 Оптика/Optics
УДК/UDC/ 6 Прикладні науки. Медицина. Технологія/Прикладные науки. Медицина. Технология/ Applied Sciences. Medicine. Technology/ 68 Галузі промисловості та ремесла, що виробляють готову продукцію/Отрасли промышленности и ремесла для изготовления и обработки изделий/Industries and crafts for the manufacture and processing of products/ 681 Точна механіка та автоматика/ Точная механика/ Рrecision mechanics/ 681.7 Оптична апаратура та прилади/Оптические приборы и аппаратура/Optical instruments and equipment